آنالیز XPS یا طیف سنجی فتوالکتریکی پرتو ایکس یک آنالیز دقیق و پیشرفته برای اندازه گیری و تعیین ترکیب شیمیایی و تعیین نوع پیوند در سطح نمونه ها بکار می‌رود. این آنالیز امکان شناسایی و تعیین مقدار عناصر سطح نمونه (به جز هیدروژن) را می دهد. از آنجایی که خواص سطحی در بسیاری از کاربردها و به خصوص کاربردهای متالورژیکی اهمیت دارد، امروزه انجام این آنالیز که از بسیاری جهات منحصر به فرد است، امتیاز بسیار با اهمیتی در مطالعات منتشر شده در مجلات معتبر دارد.

بررسی عنصری در آنالیز XPS فقط مربوط به لایه بسیار نازکی از سطح است. از این رو، آنالیز XPS برای بررسی پوشش‌هایی با ضخامت کمتر از 100 نانومتر بسیار کاربردی است. دیگر کاربردهای آنالیز XPS تعیین ضخامت لایه ها، تعیین حالت شیمیایی گونه های سطحی، شناسایی نوع کربن سطح و تعیین آلودگی های سطحی است. با توجه به اهمیت روزافزون این آنالیز، در مهامکس آنالیز XPS هم در داخل کشور و هم با همکاری بین المللی قابل انجام است.

مهمترين كاربردهاي آزمون XPS را مي توان به شرح ذيل بيان نمود:

تشخیص ترکیب شیمیایی سطح

شناسایی کلیه عناصر به جز هیدروژن و هلیوم

تعیین حالت شیمیایی گونه های سطح

قابل استفاده برای انواع نمونه های جامد (عایق، رسانا و نیم رسانا)

شناسایی نوع کربن سطح به عنوان گرافیت یا کاربید

آنالیز غیرمخرب برای نمونه های حساس به پرتو الکترونی

تشخیص حالت های اکسیداسیون اتم های فلزی در سطح

بررسی ترکیب شیمیایی لایه‌های نازک

بررسی آلودگی سطحی

منابع

1-      Lin, Tien-Chih, Gayatri Seshadri, and Jeffry A. Kelber. "A consistent method for quantitative XPS peak analysis of thin oxide films on clean polycrystalline iron surfaces." Applied Surface Science 119, no. 1-2 (1997): 83-92.

2-      Briggs, David. Surface analysis of polymers by XPS and static SIMS. Cambridge University Press, 1998.

3-      Onyiriuka, E. C. "Zinc phosphate glass surfaces studied by XPS." Journal of non-crystalline solids 163, no. 3 (1993): 268-273.